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Allgemeine Information |
Angaben zur Identifikation |
| Signatur: | 504 Mikroel Stahnsdorf 19 |
| Titel: | Anlage 1 zum Themenabschlussbericht innerhalb des Hauptthemas "Verfahren der Analogintegration": "Si (Silizium)-Epitaxie" |
| Darin: | Enthält u. a.: Selektive epitaxische Abscheidung von Silizium. - Abscheidung p-leitender Si-Schichten unter Anwendung des Funkendotierungsverfahrens. - Diagramme. - Tabellen. - Fotos. |
| Dat. - Findbuch: | 1973 |
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Benutzung |
| Erforderliche Bewilligung: | Keine |
| Physische Benützbarkeit: | Uneingeschränkt |
| Zugänglichkeit: | Öffentlich |
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URL für diese Verz.-Einheit |
| URL: |  http://blha-recherche.brandenburg.de/detail.aspx?ID=1120640 |
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