Angaben zur Identifikation |
| Signatur: | 504 Mikroel Stahnsdorf 10 |
| Titel: | Abschlussbericht zur Forschungs- und Entwicklungsarbeit: "Parameter-Wechselwirkungen: Untersuchungen zur Steigerung der Ausbeute von Silizium-Epitaxie-Planartransistoren und FKS (Festkörperschaltkreisen)" |
| Darin: | Enthält u. a.: Untersuchung wesentlicher Faktoren für die Bauelemente-Ausbeute im Silizium-Epitaxie-Planar-Prozess. - Fotos. - Diagramme. |
| Dat. - Findbuch: | 1974 |
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Benutzung |
| Erforderliche Bewilligung: | Keine |
| Physische Benützbarkeit: | Uneingeschränkt |
| Zugänglichkeit: | Öffentlich |
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URL für diese Verz.-Einheit |
| URL: |  http://blha-recherche.brandenburg.de/detail.aspx?ID=1120631 |
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