Angaben zur Identifikation |
| Signatur: | 504 Mikroel Stahnsdorf 17 |
| Titel: | G 4 - Abschlussbericht zum Vertragsthema: "Ionenimplantation in Si (Silizium)".
Auftragnehmer: Humboldt-Universität Berlin, Sektion Physik, Bereich 06 |
| Darin: | Enthält u. a.: Messung der Dotierungsprofile. - Schichtabtragung durch anodische Oxidation. - Diagramme. - Zeichnungen von Bauteilen. - Schaltpläne. |
| Dat. - Findbuch: | 1972 |
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Benutzung |
| Erforderliche Bewilligung: | Keine |
| Physische Benützbarkeit: | Uneingeschränkt |
| Zugänglichkeit: | Öffentlich |
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URL für diese Verz.-Einheit |
| URL: |  http://blha-recherche.brandenburg.de/detail.aspx?ID=1120638 |
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