Angaben zur Identifikation |
Signatur: | 504 Mikroel Stahnsdorf 27 |
Titel: | A 4 - Bericht: "Radio-Analytik II" |
Darin: | Enthält u. a.: Entwicklung der Halbleiteranalytik mittels Neutronenaktivierung. - Verfahren zur Analyse von gallium- und phosphordiffundierten Silizium-Scheiben. - Problemkreis Verunreinigungsquellen im Scheibenherstellungsprozess und Tiefenprofil der Spurenverunreinigungen im Silizium-Ausgangsmaterial. - Diagramme. - Tabellen. - Arbeitsvorschriften zu Gallium- sowie Phosphorabtrennung aus diffundierten Silizium-Proben. |
Dat. - Findbuch: | 1980 |
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Benutzung |
Erforderliche Bewilligung: | Keine |
Physische Benützbarkeit: | Uneingeschränkt |
Zugänglichkeit: | Öffentlich |
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URL für diese Verz.-Einheit |
URL: | http://blha-recherche.brandenburg.de/detail.aspx?ID=1120648 |
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