Angaben zur Identifikation |
| Signatur: | 504 Mikroel Stahnsdorf 44 |
| Titel: | A 4 - Bericht: "Materialcharakterisierung" |
| Darin: | Enthält u. a.: Entwicklung von physikalischen Charakterisierungsverfahren und chemischen Analyseverfahren für die Halbleiter-Materialentwicklung und Zyklus I - Verfahrensschritte. - Diagramme. |
| Dat. - Findbuch: | 1981, 1983 |
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Benutzung |
| Erforderliche Bewilligung: | Keine |
| Physische Benützbarkeit: | Uneingeschränkt |
| Zugänglichkeit: | Öffentlich |
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URL für diese Verz.-Einheit |
| URL: |  http://blha-recherche.brandenburg.de/detail.aspx?ID=1120665 |
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