Angaben zur Identifikation |
Signatur: | 504 Mikroel Stahnsdorf 64 |
Titel: | Held, Karl: "Erfassung und Analyse des Parameters - Gasreinheit - im Fertigungsabschnitt Diffusion von Siliziumhalbleiterbauelementen". Teilbericht im Rahmen des Forschungsthemas: "Gütesicherung elektronischer Baueinheiten". Diplomarbeit an der Ingenieurhochschule Mittweida, Sektion Elektronischer Gerätebau |
Darin: | Enthält u. a.: Schematische Darstellungen. - Tabellen. |
Dat. - Findbuch: | 1975 |
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Benutzung |
Erforderliche Bewilligung: | Keine |
Physische Benützbarkeit: | Uneingeschränkt |
Zugänglichkeit: | Öffentlich |
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URL für diese Verz.-Einheit |
URL: | http://blha-recherche.brandenburg.de/detail.aspx?ID=1120685 |
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