Angaben zur Identifikation |
| Signatur: | 504 Mikroel Stahnsdorf 88 |
| Titel: | A 4 - Bericht: "Zyklus 1 - Untersuchungen" |
| Darin: | Enthält u. a.: Untersuchung zum Zyklus 1 der Silizium-Epitaxie-Planartechnik zum Einsatz der Ionenstrahldotierung bei der Herstellung von npn-Transistoren und bipolaren IS (Integrierten Schaltkreisen). - Patentbericht zum Thema AF 4 - 956/4. - Tabellen. - Diagramme. |
| Dat. - Findbuch: | 1976 |
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Benutzung |
| Erforderliche Bewilligung: | Keine |
| Physische Benützbarkeit: | Uneingeschränkt |
| Zugänglichkeit: | Öffentlich |
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URL für diese Verz.-Einheit |
| URL: |  http://blha-recherche.brandenburg.de/detail.aspx?ID=1120709 |
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