Angaben zur Identifikation |
| Signatur: | 504 Mikroel Stahnsdorf 115 |
| Titel: | Bericht zur Zwischenverteidigung V 2: "NBT (Neue Basistechnologie) Mehrschichtepitaxie MET (Multi-Epitaxie-Technik) Z (Zyklus) I" |
| Darin: | Enthält u. a.: Überblick über die Gesamtverfahrenskette Zyklus I der MET. |
| Dat. - Findbuch: | 1983 |
|
| |
Benutzung |
| Erforderliche Bewilligung: | Keine |
| Physische Benützbarkeit: | Uneingeschränkt |
| Zugänglichkeit: | Öffentlich |
| |
URL für diese Verz.-Einheit |
| URL: |  http://blha-recherche.brandenburg.de/detail.aspx?ID=1120736 |
| |