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Allgemeine Information |
Angaben zur Identifikation |
| Signatur: | 504 Mikroel Stahnsdorf 119 |
| Titel: | Abschlussbericht: "Physikalisches Messverfahren zur Prozesskontrolle - MET (Multi-Epitaxie-Technik)" |
| Darin: | Enthält u. a.: Qualitätskontrollverfahren für den Prozessschritt Mehrfachepitaxie. - Erweiterung der Kapazität zur Eindringtiefenmessung von Diffusionsschichten. - Qualitätskontrollsystem im Zyklus I des MET-Transistors SU 190. - Tabellen. |
| Dat. - Findbuch: | 1984 |
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Benutzung |
| Erforderliche Bewilligung: | Keine |
| Physische Benützbarkeit: | Uneingeschränkt |
| Zugänglichkeit: | Öffentlich |
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URL für diese Verz.-Einheit |
| URL: |  http://blha-recherche.brandenburg.de/detail.aspx?ID=1120740 |
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