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Allgemeine Information |
Angaben zur Identifikation |
| Signatur: | 504 Mikroel Stahnsdorf 33 |
| Titel: | Bericht zur Zwischenverteidigung V 2: "Physikalische Messverfahren zur Prozesskontrolle" |
| Darin: | Enthält u. a.: Elektrische Endmesstechnik für GaAs (Galliumarsenid)/GaP (Galliumphosphid)-Einkristallscheiben. - Messverfahren zur Prozesskontrolle im Zyklus I von Si (Silizium)-Leistungsbauelementen. - Tabellen. - Patentbericht. |
| Dat. - Findbuch: | 1982 - 1983 |
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Benutzung |
| Erforderliche Bewilligung: | Keine |
| Physische Benützbarkeit: | Uneingeschränkt |
| Zugänglichkeit: | Öffentlich |
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URL für diese Verz.-Einheit |
| URL: |  http://blha-recherche.brandenburg.de/detail.aspx?ID=1120654 |
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