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Allgemeine Information |
Angaben zur Identifikation |
| Signatur: | 504 Mikroel Stahnsdorf 46 |
| Titel: | V 5/0-Abschlussbericht und Abschlussverteidigung: "Physikalische Messverfahren zur Prozesskontrolle" |
| Darin: | Enthält u. a.: Prozesskontrollmethoden im Zyklus I der Gleichrichterfertigung im Zusammenhang mit der Einführung der 76-mm-Scheibe sowie zur Beurteilung von CVD-Schichten und Epitaxieschichten. - Konzeption zur Weiterentwicklung der in den Fertigungslinien eingesetzten Messausrüstungen. - Diagramme. |
| Dat. - Findbuch: | 1983 |
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Benutzung |
| Erforderliche Bewilligung: | Keine |
| Physische Benützbarkeit: | Uneingeschränkt |
| Zugänglichkeit: | Öffentlich |
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URL für diese Verz.-Einheit |
| URL: |  http://blha-recherche.brandenburg.de/detail.aspx?ID=1120667 |
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