Angaben zur Identifikation |
| Signatur: | 504 Mikroel Stahnsdorf 49 |
| Titel: | V 1- Themenbericht: "Si (Silizium)-Epitaxie für MET (Multi-Epitaxie-Technik)" |
| Darin: | Enthält u. a.: Verfahrenstechnische Entwicklung des Teilschrittes Epitaxie innerhalb der neuen Basistechnologie Multi-Epitaxie-Technik für Leistungstransistoren. - Diagramme. |
| Dat. - Findbuch: | 1982 - 1983 |
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Benutzung |
| Erforderliche Bewilligung: | Keine |
| Physische Benützbarkeit: | Uneingeschränkt |
| Zugänglichkeit: | Öffentlich |
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URL für diese Verz.-Einheit |
| URL: |  http://blha-recherche.brandenburg.de/detail.aspx?ID=1120670 |
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