Angaben zur Identifikation |
| Signatur: | 504 Mikroel Stahnsdorf 108 |
| Titel: | A 4 - Abschlussbericht: "NBT (Neue Basistechnologie) Mehrfachepitaxie Zyklus I" |
| Darin: | Enthält u. a.: Oberflächenglättung von Epitaxiescheiben. - Emitterdiffusion. - Strukturbaufehler in Epitaxieschichten. - Einpassung der Glaspassivierung in die Arbeitsschrittketten. - Tabellen. - Fotos. |
| Dat. - Findbuch: | 1983 |
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Benutzung |
| Erforderliche Bewilligung: | Keine |
| Physische Benützbarkeit: | Uneingeschränkt |
| Zugänglichkeit: | Öffentlich |
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URL für diese Verz.-Einheit |
| URL: |  http://blha-recherche.brandenburg.de/detail.aspx?ID=1120729 |
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